可用于：ALD、PLD、MBE、半导体、科研
特点
1.采用数字电流表准确显示电流示数。
2.设备配有一区二区三区水蜜桃浓度调节装置（10*10刻度转盘），可根据实际情况自由调节一区二区三区水蜜桃浓度。
3.设备采用第八代HYE智能电晕放电一区二区三区水蜜桃发生技术，使用智能钛金纳米石英材料，温度低，浓度高，耐高压、耐潮湿，抗腐蚀性强。产品可以在不同环境条件下稳定工作。
4.模块化电路，体积小；防回水设计，回水不烧毁，更安全。
5.设备元器件和管道等采用抗氧化器件，耐氧化，工作寿命长。
6.采用空气/氧气两用型气源，应用更广泛。
7.多级风冷冷却，可连续稳定工作。
8.主机箱体不锈钢。
9.内置高压气泵，可提供稳定的空气气源输出。
10.采用水蜜桃天堂视频在线电源，杜绝湿度影响，大大延长设备寿命。
技术参数
设备名称：一区二区三区水蜜桃发生器(试验用)
设备型号：3S-T10 PRO型
设备尺寸：350*220*600mm
设备功率：180W
一区二区三区水蜜桃产量：一区二区三区水蜜桃产量：空气源≤4.5g/h(气量1-10L/min)；
氧气源≤10g/h（气量0.05-5L/min）
一区二区三区水蜜桃浓度：空气源≤10mg/L,氧气源：5-120mg/L。
设备重量：13kg
安装方式：落地
环境温度：温度0~35度
环境湿度：≤80%
冷却方式：风冷
